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潔凈廠房總體設計(噪音控制及微振控制)

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4.4 噪 聲 控 制

4.4.1 潔凈室內的空態噪聲級,非單向流潔凈至不應大于60dB (A),單向流、混合流潔凈室不應大于 65dB(A)。

4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制應采用倍頻程聲壓級,空態噪聲知譜的限制值不宜大于(表 4.4.2 )中的規定。

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4.4.3 潔凈廠房的平面和空間設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應有良好的隔聲性能,并宜使其各部分隔聲量相接近。

4.4.4 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備,宜設置專用隔聲或消聲設施。

4.4.5 凈化空調系統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風外,潔凈室內的排風系統應進行減噪設計。

.4.6 根據室內容許噪聲級要求,凈化空調系統風管內風速宜符合下列規定:

1 總風管風速宜為 6m/s~10m/s.

2 無送、回風口的支風管風速宜為 4m/s~6m/s.

3 有送、回風口的支風管風速宜為 2m/s~5m/s.

4.5 微 振 控 制

4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規定:

1 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應按微振控制要求設計。

2 潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。

3 應測定潔凈廠房內、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。

4.5.2 精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時,可按現行國家標準《隔振設計規范》GB 50463 的有關規定執行。

4.5.3 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件:

1 周圍振源對其綜合影響的振動數據。

2 設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖。

3 設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩。

4 設備、儀器儀表的底座外輪廓圖,附屬裝置,管道位置及坑、溝、孔洞尺寸,地腳螺栓及預埋件位置等。

5 設備、儀器儀表的調平要求。

6 設備、儀器儀表的容許振動值。

7 所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件。

4.5.4 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應符合下列規定:

1:隔振臺座應具有足夠的剛度。

2 隔振臺座應采取傾斜校正措施。

3 隔振系統各向阻尼比不應小于 0.15。

4 隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。

4.5.5 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進行凈化處理。



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